هر عنصر داراي یک تابش فلورسانس می باشد که به عنوان اثر انگشت آنعنصر شناخته می شود و منحصر به همان عنصر می باشد . دستگاه XRF یافلوئورسانس اشعه ایکس(X Ray Fluorescence ) از رایجترین دستگاه هاي آنالیز مواد می باشد که بدون اثر تخریبی، ترکیب عناصر موجود در ماده را ازنظر کیفی و کمی شناسایی میکند. اصول کار با دستگاه XRF مانند دستگاهXRD بر پایه تابش اشعه ایکس می باشد . دستگاه XRF در آنالیز طیف گسترده اي از مواد از جمله انواع آلیاژها، سنگ ها، مواد معدنی، رسوبات و … به کار برده می شود. دردستگاه XRF تعیین نوع و مقدار عنصر با اندازه گیري فلورسانس اشعه X ثانویه ناشی از تابش اشعه ایکس اولیه به نمونه صورت می گیرد. از این رو دستگاه طیف سنج XRF از تجهیزات ایده آل و کاربردي در آنالیز ترکیبات ماده به شمار می رود.